缩短波长的方法除了增加频率之外,其实还有更换介质(比如水),这就是浸润式微影。不同工作波长,液体也不同。需要考虑液体的吸收作用。
Rayleigh criterion(瑞利判据):
\[CD = K_1 \frac{\lambda}{NA}\]\(K_1\)是一个常数,取决于与芯片制造工艺有关的许多因素。按照ASML的说法,其物理极限值是0.25。\(\lambda\)则代表光刻机使用光源的波长;NA则是光学器件的数值孔径,描述了它们能够收集光的角度范围;CD代表线宽,即可实现的最小特征尺寸。
DUV是深紫外线(Deep Ultraviolet Lithography),EUV是极深紫外线(Extreme Ultraviolet Lithography)。
ASML光刻机分为四大等级:
A、EUV7nm及以下。
B、DUV湿法先进制程16-7nm。
C、DUV湿法成熟制程45-28nm。
D、DUV干法110-65nm。
目前实现商业量产完成度最高的先进制程光刻机,其一是DUV/EUV光刻机,其二是NIL(Nanoimprint Lithography)光刻机。
DUV/EUV光刻机,主要涉及的企业是荷兰ASML和日本尼康。
1995年,华裔科学家周郁(Stephen Chou)教授首次提出纳米压印概念。
NIL光刻的相关企业:
Nanonex,就是周郁大佬参与的公司,总部在新泽西普林斯顿。
佳能,虽然是日本公司,但是佳能NIL光刻机大部分技术来自收购的Molecular Imprints,这家公司位于德克萨斯,至今佳能NIL光刻机的研发中心也还在德克萨斯奥斯汀。
HP,这个更是不用多说,几乎人人都知道HP是美国企业。
EUV光刻机功率达到了100万瓦,是上一代的10倍左右,每天耗电3万度。
通常认为,DRAM的天花板是10nm。其原因是在传统1T1C架构下,单位元件面积不断减小,如何保证电容能够存储足够的电荷、防止相邻存储单元之间的耦合,是DRAM推进到10nm以下的无解难题,而EUV是用来做7nm以下的,DRAM目前主流是14纳米。14纳米理论上完全可以用DUV来完成,不需要EUV。
三星电子的1Znm节点DRAM量产结果表明,相比于DUV浸没式光学光刻机,EUV光刻机极大简化了制造流程,不仅可以大幅度提高光刻分辨率和DRAM性能,而且可以减少所使用的掩模数量,从而减少流程步骤的数量,减少缺陷、提高存储密度,并大幅降低DRAM生产成本,缩短生产周期。也就是说,即使EUV掩模费用(达数百万美元)远高于DUV掩模费用,使用EUV光刻机量产DRAM也具有更高的性价比。
参考:
https://mp.weixin.qq.com/s/NZGNrO_LxNc6qrIdofOIfQ
假如没有他(林本坚),就没有今天的台积电
https://mp.weixin.qq.com/s/-cudXRIo0t4gNpEqVJ7vKw
芯片光刻的流程详解
https://mp.weixin.qq.com/s/V2AY7VcUEFCMAdMPJ54ZiA
一文看懂光刻机
https://mp.weixin.qq.com/s/VY0WeBfZ2vN8OaupcsEvxw
光刻胶发展历史
https://mp.weixin.qq.com/s/odDzhxRsGuZYOdYtbrHV8Q
一文看懂光刻胶
https://mp.weixin.qq.com/s/jqP52LFcmd5oGRLBfE2J_A
光刻机编年史(1959-1969)
https://mp.weixin.qq.com/s/YvzxV5NLz4FkKO71bxpAIA
给孩子讲讲光刻机吧
https://mp.weixin.qq.com/s/6BnrAEMpZxJ3ChBHWQ9mWA
台积电缺电!30台EUV光刻机一天耗电90万度
https://mp.weixin.qq.com/s/AUDDEYETPdJSyIdpMl4hLQ
一文看懂ASML EUV光刻技术
https://mp.weixin.qq.com/s/DFU4zoteqehOJkBpVVhXyA
EUV光刻机里的低调王者
https://mp.weixin.qq.com/s/jGzdfEJaulPRjt89eLST4Q
8英寸晶圆30年
半导体产业发展至今经历了三个阶段,第一代半导体材料以硅为代表;第二代半导体材料砷化镓也已经广泛应用;而以氮化镓和碳化硅、氧化锌、氧化铝、金刚石等宽禁带为代表的第三代半导体材料。
https://mp.weixin.qq.com/s/QF9Nsh_YyX9LZQ_D-4hP-A
芯片是怎么制造的?央视最强科普!
https://mp.weixin.qq.com/s/bKgYpZdXxAexlEtmPQ9oGw
科普:芯片是怎么从沙子中一步步炼成的!
https://mp.weixin.qq.com/s/9y5HFTQr2QP12iR858BFtg
图解intel芯片生产全过程!
https://mp.weixin.qq.com/s/aSCcdTHUoogP7TOK5MIsVw
一颗芯片的全球之旅
https://mp.weixin.qq.com/s/LcnyAhOofWyGHikYwfIlIA
芯片的诞生
https://mp.weixin.qq.com/s/lD2bkDIX6ey-VHchSdbW7g
漫画芯片
https://mp.weixin.qq.com/s/v3wauOfWw6TLlxTH4QKR6w
一文详解MOS管
https://mp.weixin.qq.com/s/kzQ-WqozBX-T8ZyS58MPnw
一张图了解芯片到底是如何设计的
BGA封装,就是那种引脚都在芯片背面的封装。QFP封装,即四侧引脚扁平封装。同样面积情况下,显然占据一个面的引脚数,要超过仅占据四个边的引脚数。
CoWoS(Chip-on-Wafer-on-Substrate)
TSV(Through Silicon Via)
https://xueqiu.com/8992033978/256442528
一文看懂TSV技术
https://zhuanlan.zhihu.com/p/586478535
台积电芯片封装技术-CoWoS
https://mp.weixin.qq.com/s/FVcmCvimpoGCtCtm4RDtUg
浅谈先进封装技术
https://mp.weixin.qq.com/s/vGONCRzvFGVo6giUFq0uag
芯片封装类型总结
https://mp.weixin.qq.com/s/RtSmbwguM7dbsXkWqAPuCQ
英特尔3D封装技术深度解读
https://zhuanlan.zhihu.com/p/54685671
PCB板上的黑色的物体是什么?
https://mp.weixin.qq.com/s/MQHZ-yLhZRIfOL9kN4XFKw
一文看懂3D封装技术及发展趋势
https://mp.weixin.qq.com/s/WBab6k4mIkZNzpvbgSbpVQ
一文看懂SiP封装技术
https://mp.weixin.qq.com/s/S-YGgvE6ey2t9_YmVmKOFg
一份难得的MOS管封装分析报告
https://mp.weixin.qq.com/s/MXuN1ccza508TMkcYVadvA
芯片封装简史
片上网络network-on-chip(NoC)是片上系统system-on-chip(SoC)的一种新的通信方法。它是多核技术的主要组成部分。NoC方法带来了一种全新的片上通信方法,显著优于传统总线式系统(bus)的性能。
https://zhuanlan.zhihu.com/p/63683111
详说片上网络之一:片上多核系统与片上网络的发展
https://zhuanlan.zhihu.com/p/65501500
详说片上网络之二:片上多核系统的互联需求
https://zhuanlan.zhihu.com/p/68393867
详说片上网络之三:片上互联的需求与片上网络的研究意义
https://zhuanlan.zhihu.com/p/69012724
详说片上网络之四:片上网络研究的难与易
https://zhuanlan.zhihu.com/p/71775965
详说片上网络之五:网络分层模型在片上网络上的实现(上)
https://zhuanlan.zhihu.com/p/78672250
详说片上网络之六:网络分层模型在片上网络上的实现(下)
https://mp.weixin.qq.com/s/AW08yhPzBZqfys8CbOjrYg
详说片上网路(NoC)技术
https://www.zhihu.com/question/31049944
片上网络NoC为何还没有得到实际应用?
https://www.zhihu.com/question/521098765
用算力强大的SOC来控制汽车是不是能够大幅减少MCU的使用数量?
北桥芯片则是整个主板的数据交换中枢,整合有内存控制器以及AGP/PCI-E控制器等重要的控制功能,CPU、GPU与内存之间的数据交换都要通过北桥芯片进行;
南桥芯片则用于扩展外围I/O接口,例如SATA和USB接口等。
ISA -> PCI -> AGP -> PCI-E
CXL全称是Compute Express Link。是一种开放工业标准用于高带宽低延迟的设备互联。它可以用来连接CPU和Accelerator, Memory Buffer以及Smart NIC等类型的设备。用于AI Machine Learning,高性能计算等场景。
CXL基于PCIe 5.0的物理层。我们已经有了PCIe,为什么还要再搞出一个新的CXL呢?其实主要是因为PCIe不支持cache的一致性。
NIC:Network Interface Card
和NV Switch类似,PCIe也有PCIe Switch。价格同样不菲。
https://zhuanlan.zhihu.com/p/651836498
这颗博通芯片,涨到14万
PCIE插上之后,初始通信速率都是PCIE 1.0的,完成握手后,会协商跳入更高速率继续握手。
PCIe分为控制器(controller)和PHY两部分,控制器是数字电路,PHY包含PCS和PMA两部分,PMA是模拟电路。
从linux上pcie驱动代码上看,博通、高通、海思等公司都是采用的synopsys的pcie控制器。但这些大厂现在有没有自研的pcie ip我就不清楚了。。。
https://www.zhihu.com/question/618468070
pcie4.0的设备插在3.0的设备上可行吗,如果反过来又会怎样?
https://www.sohu.com/a/193807422_588758
PCI,AGP,PCI-E接口啥区别?
https://zhuanlan.zhihu.com/p/383878879
CXL简介
https://zhuanlan.zhihu.com/p/391094717
详解HBA、NIC与CNA的区别
https://zhuanlan.zhihu.com/p/646829255
PCIe体系结构
https://zhuanlan.zhihu.com/p/646920500
一些PCIE知识整理——带宽计算
https://mp.weixin.qq.com/s/QyPIXvwJ1yux_XxmeNI3hw
PCIe发展历程及常见插槽速度对比
https://www.zhihu.com/question/550129239
PCIe传输和DMA传输有什么区别吗?
NetBurst可以说是Intel历史上最大的战略错误。
https://www.zhihu.com/answer/137624368
历史上有哪些“大力出悲剧”的产品?
https://mp.weixin.qq.com/s/-2kGkJzjay2WJzIpMs2Adw
IEEE盘点27款震撼世界的芯片
https://mp.weixin.qq.com/s/KhY-PPdvZ26Uy8xEgi70DA
纪念晶体管诞生71周年——改变世界30款芯片大阅兵!
http://m.uczzd.cn/webview/news?aid=15020380163392206798
你所不知道的经典科技发展史: 以前CPU是如何设计出来的
https://mp.weixin.qq.com/s/Lnolh9y0rf86wOGa-F1xmw
计算机的诞生史
https://mp.weixin.qq.com/s/f_rk-NPKNzYpbHOr5bgluw
一文了解半导体的过去、现在和未来
https://mp.weixin.qq.com/s/A6tc00Azj9AM-FApt5CkTQ
AMD YES!背后不为人知的故事
https://mp.weixin.qq.com/s/EfjhstpXsl6sG9q_-qQjXQ
世界半导体集成电路发展史
https://mp.weixin.qq.com/s/pSKQ3lRYV13qU_5DaOw2HQ
晶体管发展历程回顾
MMX直接使用了80bit的FPU寄存器中的64bit,对CPU整个流水线几乎没有影响;SSE的128bit相比80bit增加了48bit宽度还算可以接受。AVX的256bit,整个CPU的数据通道比80bit增加了三倍多,需要消耗三倍的晶体管,功率也增加了三倍。因此在严格限定功耗的场景如笔记本或者服务器中,CPU运行AVX应用时需要降低频率从而降低功耗。
为了适应DL领域的应用,AVX还添加了一个VNNI的扩展指令集(Vector Neural Network Instructions)。
参考:
https://www.zhihu.com/question/406517759
如何看待Linus Torvalds对AVX512的评价?
https://zhuanlan.zhihu.com/p/449878214
向量化引擎初探(一)
您的打赏,是对我的鼓励
请访问这里提交评论